富创精密(688409)
持股比例：23.72 %，持股数量：2857.14万，变动情况：不变

富创精密(688409)
持股比例：13.67 %，持股数量：2857.14万，变动情况：不变

拓荆科技(688072)
持股比例：13.60 %，持股数量：2560.00万，变动情况：不变

路维光电(688401)
持股比例：11.51 %，持股数量：1305.00万，变动情况：不变

中科飞测(688361)
持股比例：11.40 %，持股数量：3646.59万，变动情况：不变

长光华芯(688048)
持股比例：10.46 %，持股数量：1041.99万，变动情况：不变

科德数控(688305)
持股比例：8.76 %，持股数量：465.89万，变动情况：不变

华曙高科(688433)
持股比例：8.27 %，持股数量：3424.64万，变动情况：不变

路维光电(688401)
持股比例：6.75 %，持股数量：1305.00万，变动情况：不变

长光华芯(688048)
持股比例：5.91 %，持股数量：1041.99万，变动情况：不变

奇安信-U(688561)
持股比例：4.09 %，持股数量：2085.21万，变动情况：不变

复洁环保(688335)
持股比例：3.39 %，持股数量：501.13万，变动情况：不变

复洁环保(688335)
持股比例：3.39 %，持股数量：501.13万，变动情况：不变

奇安信-U(688561)
持股比例：3.04 %，持股数量：2085.21万，变动情况：不变

华海清科(688120)
持股比例：2.82 %，持股数量：318.58万，变动情况：-2.32万

华海清科(688120)
持股比例：2.00 %，持股数量：318.58万，变动情况：-2.32万

荣昌生物(688331)
持股比例：1.01 %，持股数量：355.13万，变动情况：-13.37万